三、中国攻势:从“突围战”到“歼灭战”的质变
中国半导体的反击绝非偶然,而是一场蓄力二十年的“技术长征”。当ASML在2007年用浸没式光刻机终结尼康霸权时,中国工程师正在实验室打磨90nm光刻机原型;当ASML在2010年交付首台EUV设备时,中微公司的刻蚀机刚进入台积电验证。但正是这种“蚂蚁啃骨头”的坚持,在2025年迎来质变:
技术路线革命:新凯来的“超紫外激光等离子体光源”,突破传统EUV的波长限制,在功率和稳定性上实现代际跨越。
产业链重构:华为“星光工程”团队+深圳国资的资本赋能,形成“研发-制造-应用”闭环生态,设备国产化率突破70%。
市场倒逼创新:中国晶圆厂2024年扩产26座,成熟制程设备需求激增300%,为国产设备提供试炼场。
这场战役的精妙之处,在于“你打你的,我打我的”——当美国专注封锁EUV时,中国选择在原子层沉积(ALD)、多重图形曝光等“非对称赛道”突进。正如抗美援朝时的“零敲牛皮糖”战术,以局部技术突破撕开全局封锁。